Применение ядерных резонансных реакций и процессов резонансного рассеяния для приповерхностного анализа твердых тел продемонстрировано на обширном круге примеров - от технологии производства полупроводниковых электронных приборов до исследования геологических и археологических образцов. Современные тенденции в этой области связаны с применением различных методов (анализ мгновенных ядерных реакций, рентгеноспектральный анализ ионным возбуждением, ядерная спектрометрия резерфордовского обратного рассеяния и др.), дополняющих друг друга одновременно с улучшением аналитических возможностей (чувствительность, поверхностное разрешение и разрешение по глубине). Особая роль в этом направлении отводится развитию ионных микропучков.

The application of nuclear resonance reactions and resonance scattering processes for the near surface analysis of solids is demonstrated on an extensive compilation of examples ranging from special technological problems of semiconductor electronic device production up to the investigation of geological and archeological samples. Modern trends in this field are connected with the combined usage of different analytical methos (PNRA, IIХЕ, NBS ets.) as well as with the improvement of the analytical capabilities (sensitivity, lateral and depth resolution). The development of ion microbeams is of special interest in this direction.